EVERBEING プローブステーション BD-6

BD-6

1,800,000円(税込1,944,000円)

定価 1,800,000円(税込1,944,000円)

バキュームチャック表面処理 および 4.5"幅プローブカードホルダ
X-Yステージ仕様+Zステージ
購入数

EVERBEING製品は、ご注文いただいた後、当ショップより納期に関してご連絡差し上げます。
納期に関してご了承いただけた後、お振込先に関するメールが送信されます。

特徴
・バックラッシュレス方式を採用
・大径ノブ付精密リードネジX-Yステージ【可動域:6"x6"】
・ウエハークイックーロード用Yステージ付
・ステンレス製バキュームチャック
・大型プラテン(EB-700シリーズポジショナーで最大12台搭載可能)
・プラテンクイック上下レバー機構【可動範囲:6mm】
・プラテン精密上下機構【可動範囲:25mm】
・マイクロスコープX-Yステージ【可動範囲:1"x1"】
・チャックθ回転機構【可動範囲:±15°】
※ マイクロポジショナーとマイクロスコープは別売りとなります。

オプション
■4.5インチ幅プローブカードホルダの追加が可能
 「θ調整機構付き」タイプと「θ調整機構無し」タイプから選択できます。

■バキュームチャック表面処理の選択が可能
 標準の「ステンレス仕様」から「金メッキ仕様」に変更することができます。

■X-Yステージの選択が可能
 標準の「大径ノブ付精密リードネジ タイプ」から「精密ラック&ピニオン タイプ」に変更することができます。

■Zステージの追加が可能
 Zステージの追加により4mmストロークの上下動が可能になります。

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